論文目録

目次

第1章 緒論

p1

1･1 はじめに

p2

1･2 従来の研究

p6

1･3 本研究の目的

p25

1･4 本論文の構成

p27

参考文献

p30

第2章 ダイヤモンド気相合成用アーク放電プラズマジェットCVD装置の試作

p36

2･1 はじめに

p37

2･2 アーク放電プラズマジェットCVD装置の設計および仕様

p37

2･3 基板温度の設定

p43

2･4 ダイヤモンド合成実験

p45

2･5 まとめ

p51

参考文献

p55

第3章 ダイヤモンド気相合成における最適条件の選定

p56

3･1 はじめに

p57

3･2 メタン濃度による影響

p57

3･3 メタンおよび水素流量による影響

p65

3･4 基板温度による影響

p68

3･5 放電電力による影響

p68

3･6 基板材料による影響

p72

3･7 まとめ

p96

参考文献

p96

第4章 アーク放電プラズマジェットによる気相合成ダイヤモンドの結晶成長

p98

4･1 はじめに

p99

4･2 結晶成長におよぼす基板表面処理の影響

p99

4･3 気相合成ダイヤモンドの組織

p111

4･4 結晶成長におよぼす合成条件の影響

p126

4･5 結晶成長におよぼす酸素添加の影響

p136

4.6 まとめ

p159

参考文献

p160

第5章 ダイヤモンド合成用アーク放電プラズマジェットの状態解析

p163

5･1 はじめに

p164

5･2 プラズマジェットの流れ場･温度場

p164

5･3 プラズマジェット内に生成される化学種

p184

5･4 基板に供給される化学種とダイヤモンド生成物形状との関係

p195

5･5 まとめ

p207

記号

p208

参考文献

p208

第6章 ダイヤモンド薄板の切削工具への適用

p209

6･1 はじめに

p210

6･2 ダイヤモンド切削工具の作製

p211

6･3 切削工具としての性能評価

p220

6･4 まとめ

p231

参考文献

p231

第7章 ダイヤモンド薄板の砥粒への適用

p232

7･1 はじめに

p233

7･2 ロールミルによるダイヤモンド粉の作製

p233

7･3 ダイヤモンド粉の特性

p245

7･4 ダイヤモンド砥石の研削特性

p253

7･5 気相合成ダイヤモンド粉の破砕特性に対する考察

p280

7･6 まとめ

p286

参考文献

p286

第8章 結論

p287

謝辞